Разлика между версии на „Тънки слоеве“

редакция без резюме
* процеси на отлагане във [[вакуум]]
** термично [[изпарение]] на материал (чрез резистивно или електронно-лъчево нагряване)
** [[йонно [[разпрашване]] в [[тлеещ разряд]]
** [[Електрическа дъга|вакуумно-дъгово]] нанасяне