Шаблон:Ширина на линията ИС

Ширина на линията в планарната технология

10 µm — 1971 3 µm — 1975 1.5 µm — 1982 1 µm — 1985 800 nm (0.8 µm) — 1989 600 nm (0.6 µm) — 1994 350 nm (0.35 µm) — 1995 250 nm (0.25 µm) — 1998 180 nm (0.18 µm) — 1999 130 nm (0.13 µm) — 2000 90 nm — 2002 65 nm — 2006 45 nm — 2008 32 nm — 2010 22 nm — 2012 14 nm — 2014 10 nm — прогноза 2016 7 nm — прогноза 2018

Документация